陶瓷棒結晶材料在表面上存在有很多晶格缺陷,去除表面原子所需能量比破壞材料原子結合所需的能量小得多,強度高的物質表面凸出部分原子更易被強度低的粒子沖擊而被去除??梢詫崿F用軟質粒子來加工硬質材料,并且硬質材料也不會因為力的作用發生塑性變形而產生品格錯位或缺陷。
浮動拋光是使用平面度很高并帶有同心圓或螺旋溝槽的錫拋光盤、高回轉精度的拋光機,將拋光液覆蓋在整個陶瓷拋光盤表面上,使拋光盤及工件相對高速回轉,在二者之間拋光液呈動壓流體狀態,使工件懸浮在拋光盤上并獲得極高平面度的非接觸超精密拋光方法。
浮動拋光技術可獲得高精度表面,加工后表面沒有殘余應力,不影響材料表面磁特性。主要應用于高密度的VTR磁頭、計算機磁頭的磁隙面和滑動面、激光器中光學陶瓷零件加工。